孔子曾说过：“叁人行必有我师。”善于学习的人必定是能够发现自身不足并取长补短。光电信息行业与微电子半导体领域一直都是科技创新的前沿阵地，为了弥补同学们实践操作上的不足、扩展视野、努力追赶学科前沿的脚步，我校光电信息系潘显兵主任和曾国庆老师带领同学来到重庆邮电大学微电子工艺实验室进行参观学习。
我校师生一行受到微电子工艺试验室王智鹏老师的热情欢迎。王老师首先向同学们简要介绍了微电子工艺实验室的组成及功能，随后带领同学们首先进入了版图分析室，利用投影设备向同学们展示微观芯片内部结构，详细讲解了芯片制造过程中的四次模板制作。
紧接着王老师带同学们参观了芯片制作过程中最为重要的光刻室，这里负责定义模板，以便进行后续操作，王老师为大家讲解了光刻机的使用方法并演示操作。显影与曝光之后，光刻胶形成的模具作为第二阶段模板，接下来便来到了氧化扩散室，氧化硅放入石英舟中进入高温炉（1000℃），至此，半导体结构基本形成。
下一步是将各器件连接在一起，也就是所谓的金属布线，这项工作需要在金属化室进行操作，王老师向同学们简要介绍了磁控溅射镀膜机、电子丝蒸发台的工作原理，进过这步操作，半导体的电路结构基本完成。
接下来是对半导体进行清洗与刻蚀，刻蚀要点在于控制腐蚀速度，利用氟化铵作为缓冲剂，降低氢氟酸腐蚀速度，而清洗这一步骤的重点在于去离子水制水设备，清洗硅片需要18惭欧姆电阻的去离子水，利用反渗透膜和带点树脂吸收离子才能制备。
最后，王老师带领同学们参观了封装测试实验室，并简要介绍了超声金丝球焊机和激光划片机的使用方法。考虑到实验安全性与消耗时间过长的问题，重庆邮电大学成立了微电子虚拟仿真实验中心，通过软件进行实验操作，大大节约了操作时间而且保证了实验的安全性，同学们对此产生了极其浓厚的兴趣，曾国庆老师表示希望能与重邮本校合作，对这一虚拟实验平台进行推广，王老师对这一看法表示高度赞同，希望双方能加紧合作，以期尽早实现虚拟实验平台的资源共享。
(光电信息系供稿)
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